说到压力传感器,就不得不提到一个叫斯密斯的英国人。就是他发现了扩散硅材料的压阻效应,为了压力传感器的生产奠定了理论基础。而说到扩散硅压力传感器,我们不得不说到惠斯登电桥,这个被简单的描述成几个电阻的东西,从事压力传感器行业的年轻人都知道,但是没有几个人能够真正一睹它的庐山真面目。
当时我国生产扩散硅压力传感器的企业很少,沈阳的沈X所,西安的骊山XXX公司和我们宝鸡104信箱(当时处于保密需要对外宣称的宝鸡XX晶体管厂,实际上名称为宝鸡XX器研究所)是当时为数很少的几家。强大的市场需求保证了企业的巨大利润和正常运转。用于生产的去粒子水价格和牛奶差不多。但有强大的市场和价格作为保障完全没有问题,这种状况延续多年。
九十年代初,随着改革开放的深入,各种信息都告诉我们,这种原始的生产方式必然会受到严峻的考验。那时国外已经大量的生产大直径的晶圆产品了,相比我们来说,生产效率及工艺技术领先了不少。
这种用于生产压力传感器的晶圆每个芯片仅约1mm见方,每个晶圆可生产的芯片约百十片。显然生产效率极高,能有效的降低成本。我们生产的芯片是一个一个的生产出来的。生产工艺相对落后很多,且有很多不确定因素难以控制,显然在质量保证上也无法与之抗衡。
约两年之后,国外芯体大量涌入敞开了的国家大门。最早的瑞士KELLER,然后是精量,还有摩托罗拉等,都想从中国的市场中分得一杯羹。起初的价格约一千多元人民币,随着国产芯体的出现价格逐渐回落,直到现在价格已相差无几。从实际出发来说,我们的传感器芯体质量还是较国外有很大差距。首先在芯片质量上,再者就是工艺所造成的差距。
方便实用的压力传感器芯体
再后来受到做不如买的思想影响,国家在此方面没有什么立项和投入,这次光刻机的购买成为悲壮的收官之作。
随着市场的逐渐扩大,越来越多的企业加入到这个行业中去,然而不难发现高端市场已被EJA横河、 ROSEMOUNT、Honeywell等这些外资企业有条不紊刮分,游走于中低端市场的本土企业争得头破血流。